中科仪（南通）半导体设备有限责任公司位于中德生态园，是中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司投资的全资子公司。作为国内领先的半导体设备制造企业，沈阳科仪一直致力于为客户提供高质量的设备和专业的维修服务。

此次中科仪（南通）在青岛集成电路产业园成立的青岛分公司，工厂总建筑面积2700平方米，配备一流的技术人员和设备，团队核心成员具备专业维修机械电控技术，维修分析检测经验。项目投产后，可以满足各合作伙伴对半导体设备维修和保养的需求，提供更加及时、专业的技术支持。

据介绍，中科仪（南通）半导体设备有限责任公司青岛分公司的正式成立，填补了市场对于高质量、高效率维修服务商的空白。新厂后期将主要承担合作企业生产的各类半导体设备维修工作，包括定期维护、故障排除、零部件更换及设备升级改造等。作为中国科学院技术支撑的国内领先企业，中科仪（南通）半导体设备有限责任公司在青岛市集成电路产业园设立分公司，将助力青岛市集成电路产业发展。

青岛市集成电路产业园于2022年11月26日正式揭牌成立，是青岛市市首批批复的市级高水平专业新兴产业园区。产业园位于位于青岛西海岸新区，规划面积13550亩，重点发展集成电路制造、设备、封测、研发设计等领域，致力打造中国重要的集成电路产业集聚高地。